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无尘烘箱的工作原理是什么?

       无尘烘箱是一种特殊类型的工业烤箱,主要适用于无尘车间。根据被烘干产品的需要,有4种无尘等级可供选择:100级、1000级、10000级、10000级以上。那么,你知道无尘烘箱的工作原理是什么吗?

       无尘烤箱配备HEPA过滤器,以保持炉腔无颗粒。  HEPA过滤器(高效微粒捕获)现在是电子和平板显示器洁净室组装的主要过滤系统,或任何需要减少或去除亚微米微粒的应用。 HEPA过滤器具有随机定位的微玻璃纤维的深床,其中与平均纤维直径和自由路径横截面的有效孔相比,总床深度(过滤器的厚度)非常大。

       通过HEPA过滤器的气体必须流过的通道不是直的,而是非常曲折的。随着颗粒对纤维的影响并粘附在纤维上,通道变得更小并且过滤器的效率提高。无尘烘箱以及LCD行业的特殊输送炉中使用这些过滤器。为了保护过滤器不会在烤箱中过热,实施了用于过滤器的特殊保护系统。 HEPA过滤器在正常条件下保持其在烤箱中的效率一至数年。 HEPA不需要任何清洁或维护来保持这种效率。

       半导体无尘烘箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

无尘烤箱 (2)