洁净烤箱
产品内容介绍
产品特点
PRODUCT FEATURES
为满足半导体封装测试行业对无尘烘烤的需求,深圳云顶集团根据行业的使用习惯、材料特性、工艺流程等特点研发出半导体洁净烤箱。洁净烤箱主要通过空气过滤器来净化环境,避免空气中的细小颗粒物进去箱内。箱内空气封闭自循环,经100级耐高温高效空气过滤器反复过滤,使工作室内处于无尘状态。洁净烤箱主要适用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。
1、结构组成:由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道循环系统组装而成,结构合理。
2、密封性设计:全周氩焊,采用耐高温硅橡胶无尘密封条隔热,确保密封性和洁净度
3、外部防尘处理:外材质为SPCC钢板经过粉体喷塑,耐磨不掉尘渣;
4、高效过滤器:HEPA过滤网构造洁净室,99.99%有效过滤,洁净度达到等级100级;
5、节能:保温材质为高密度纤维,保温节能;
6、分层结构设计:内箱层板高低可调,可自由取出;
7、温控仪表:自动控制温度,恒温及时间控制,设有超温自动停电及报警电路,控制可靠,使用安全。
8、电器配件:全部采用一线品牌,PID演算的温控系统和超温保护装置,智能恒温,温差小,适用不同产品的长、短烘烤。
选配组件
1、程序控温:可配置程序型温度控制器,实现多组程序控温。
2、测温功能:多点测温查看及记录功能。
3、风门调节:可加装风量调节装置,亦可实现风门开关程序控制。
4、温度记录仪:可配置多通道温度记录仪,打印机或RS485接口,监控记录温度变化状况。
产品参数
PRODUCT PARAMETERS
型号 | YH-J100-ES-02 |
温度范围 | 常温—300℃ |
温度精度 | ±1℃ |
温度均匀性 | ±2%(空载) |
加热功率 | 6KW |
容积 | 350L |
工作尺寸(高*宽*深) | 910*620*620(mm) |
外部尺寸(高*宽*深) | 1750*855*1030(mm) |
过滤器 | HEPA耐高温高效过滤器(CLASS 100) |
含氧量范围 | 1%-100PPM(选配) |
升温速率 | 升温速率可调,空载常温升至175℃大约30分钟 |
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