高性能无氧烘箱能够在氧气浓度低至500ppm的气氛中在高达500°C的温度下进行热处理。这使得该系列非常适合 MLCC 和 LTCC 脱脂，以及各类抗氧化热处理。高温无氧烘箱采用专有的腔室结构和密封技术，具有出色的气密性和温度均匀性，同时还确保了更高的稳定性和重现性。同时采用由冷却水循环的外部冷却机构，可以在不影响炉内气氛的情况下进行快速冷却，从而缩短处理时间。

高温无氧烘箱优势：

●内胆采用满焊处理，管路采用无缝不锈钢管件焊接处理，氧浓度低至500PPM；

●耐高温风机+合理风道构成热风循环系统,保证室内温度均匀性，温度均匀度1.5℃%，

●采用进口温控系统，PID自动演算，控温精度±0.5℃；

●1.5厚度SUS304#不锈钢内胆,优质钢板外体涂装烤漆,可防止微尘，造型新颖大方；

●全周密焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢洁净电热产生器，防机台本身产生微尘；

●采用自动氮气程序化控制，配合高效水冷系统降温功能，完成高效生产作业。

高温无氧烘箱应用范围：

高温无氧烘箱应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI,PBO固化），IC封装（铜基板，银胶，硅胶，环氧树脂），玻璃基板烘烤，高精度退火处理，镀金方案中感湿膜烘烤工艺，车载玻璃镀膜后退火，硅片（晶圆）高温退火，PCB板防氧化烘烤，氟橡胶材料厌氧烘烤工艺，电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求，适用于工厂生产、高校研究、科研机构研、电子、光学、航空航天、光电器件等领域。