微电子行业封装工艺经常都是无尘环境中进行，除了在无尘室的无尘洁净环境之外，还需要一定的温度，加速各类胶水的固化及芯片的固定等流程，无尘烘箱可以很好的提供此类环境，温度可在室温至200或300℃之间自由设定，洁净等级分为千级无尘和百级无尘。
百级洁净无尘烘箱为精密半导体制造业提供完美的洁净环境——通过对进入的补充空气、再循环采用 HEPA 过滤器，消除了环境和空气污染物（如灰尘、微生物和蒸汽）与产品接触的任何可能性和排气路径。
为了更好的控制洁净烤箱的温度波动度，它的温控器使用可控硅+内置SSR+外接SSR控制，在大功率的模式下，可以精确的控制箱内温度的均匀度和波动度。洁净无尘烘箱采用独特的内外舱一体结构，全密封结构可以更好的防止灰尘侵入。结合内循环的风道设计，循环的热风通过耐高温超高效过滤器H.E.P.A不断对内部进行自净化过滤，从而形成高洁净、温度均匀的密闭的洁净无尘高温烘烤环境。
百级洁净烤箱的特点：
重型全焊接结构钢框架，不锈钢全焊接内衬，提供层架或推车装载配置。
带有进气/排气鼓风机的大容量水平气流系统都配备了 HEPA 过滤器，包括再循环路径。
高容量水平空气再循环系统和电加热系统可实现性能的大温度。
独立超温保护，相序保护，断电保护等多重保护机制，确保使用安全。