无氧化烤箱,是以营造柜内氧气低含量,并进行加热烘烤的干燥设备。主要是对于一些金属等比较容易氧化的器件进行烘烤干燥固化时的防氧化保护。无氧化烤箱主要用途,可执行晶圆级预烧和磁性退火等前道半导体功能, 以及组装/晶圆级包封功能(例如黏晶固化、稳定性和预烧测试以及热冲击),以满足其退火、干燥及热分解需求,还满足在大规模半导体封装和组装生产中对洁净工艺、低氧化、粘合剂和聚合物的高效固化等要求。无氧化烤箱已经是为越来越多的工厂所使用。那么,无氧化烤箱需要看重哪些参数?该怎么选择呢?
无氧化烤箱是烘烤干燥为目的,辅以无无氧环境而进行器件的防氧化保护。而无氧的营造,目前较为实用、经济的方法是采用充氮气的方法。在烤箱烘烤的同时充入氮气,逐渐综合、替换柜内原有空气。在一定时间的氮气充入之后,柜内的氧气含量将会达到非常低的水平。此时再进行烘烤,氧化还是会发生,但此时柜内烘烤的物品氧化发生已变得非常缓慢。其缓慢到产品所能接受的范围以内时,则此烘烤物品的无氧化目的已达到。这就是无氧化烘烤箱的工作。
云顶集团无氧化烘箱产品特点
1、利用强制通风作用,烘箱内设有风道,温度均匀度1.5%,物料干燥均匀;
2、采用进口数字型智能温度控制器,定值恒温控制模式,PID自动演算,控温精度±0.2℃,带传感器断线报警功能,超温抑制,超调功能,控温精确,过冲低,带超温警报保护功能,确保产品运行安全。
3、双流量计节氮系统,双延时充氮控制,无氧、低氧环境下大大节省氮气消耗量。
4、箱门于箱体结合处采用耐高温硅橡胶条密封迫紧,保温性能好,抗老化,环保无污染。箱门把手采用提拉式锌合金机械把手,机械强度高,耐磨损,开关门灵活。
5、采用LED数字型时间计时器,设定温度→设定保温时间→时间到结束END提示-自动示切断加热-警报完成指示。
无氧化烤箱的温度、均匀性、波动度、氮气浓度、控制方式等会直接影响物料器件烘烤干燥除湿固化效果的主要性能参数,因此选择烘箱时要着重注意以上参数。